[发明专利]一种提升缺陷检测性能的方法有效
申请号: | 202011459029.8 | 申请日: | 2020-12-11 |
公开(公告)号: | CN112560935B | 公开(公告)日: | 2022-04-01 |
发明(设计)人: | 许博闻;时雪龙;燕燕;周涛;李立人 | 申请(专利权)人: | 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司;上海集成电路研发中心有限公司 |
主分类号: | G06V10/774 | 分类号: | G06V10/774;G06V10/82;G06K9/62;G06N3/04;G06N3/08 |
代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人: | 吴世华;陈慧弘 |
地址: | 201800 上海市嘉定*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种提升缺陷检测性能的方法,其包括训练集、验证集和测试集的生成步骤、遍历训练集中的N1组三通道图像‑目标CDSEM图像数据对完成神经网络模型的训练步骤、遍历验证集中的N2组三通道图像‑目标CDSEM图像数据对完成目标检测神经网络模型的验证步骤、遍历测试集中的N3组三通道图像‑目标CDSEM图像数据对完成目标检测神经网络模型的测试步骤以及基于最终的目标检测神经网络模型,对新的原始CDSEM图像进行缺陷检测步骤。因此,本发明将原始CDSEM图像的灰度信息和梯度信息进行结合,作为目标检测神经网络模型的输入图像,有助于模型从不同的视野去学习图像的缺陷特征,从而进一步提升模型训练的速度和准确度。 | ||
搜索关键词: | 一种 提升 缺陷 检测 性能 方法 | ||
【主权项】:
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