[发明专利]一种相位型空间光调制器的标定方法及装置有效
申请号: | 202011460502.4 | 申请日: | 2020-12-11 |
公开(公告)号: | CN112697401B | 公开(公告)日: | 2022-12-02 |
发明(设计)人: | 郝翔;刘鑫;韩于冰;匡翠方;刘旭 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 刘静 |
地址: | 310058 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种相位型空间光调制器的标定方法及装置。光源发出线偏振光入射到加载有灰度图的空间光调制器,灰度图分布为:一半屏幕的灰度始终为0,另一半屏幕的灰度为G,在标定过程中G逐步由0增加至255;经过空间光调制器进行相位调制后反射到达相机;通过相机接收并记录衍射图样,通过衍射图样中暗条纹强度即可推算出相位型空间光调制器上加载的灰度G所对应的调制相位。与已有技术相比,本发明所公开的方法及装置简单稳定,标定效率高,精度高,能够广泛用于相位型空间光调制器的标定与检测。 | ||
搜索关键词: | 一种 相位 空间 调制器 标定 方法 装置 | ||
【主权项】:
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