[发明专利]基于机器学习预测刻蚀工艺后CDSEM图像的方法有效
| 申请号： | 202011461483.7 | 申请日： | 2020-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN112541545B | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 燕燕;时雪龙;周涛;许博闻;李立人 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司;上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G06V10/774 | 分类号： | G06V10/774;G06V10/75;G06V10/82;G06K9/62;G06N3/04;G06N3/08 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;陈慧弘 |
| 地址： | 201800 上海市嘉定*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种基于机器学习预测刻蚀工艺后CDSEM图像的方法，其包括训练集和验证集的生成步骤、在进行模型训练之前将所述空间像‑CDSEM图像对齐步骤、遍历N组所述空间像‑CDSEM图像数据对完成神经网络模型的训练、遍历所述验证集中的空间像数据，对训练完成的所述神经网络模型进行验证、以及神经网络模型应用步骤。因此，本发明在刻蚀之前根据空间像推算出实际刻蚀后的CDSEM图像，以检查是否有缺陷并进行进一步的修正，其优点在于速度快、精度高和成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 机器 学习 预测 刻蚀 工艺 cdsem 图像 方法 | ||
【主权项】：
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