[发明专利]一种灵敏度及带宽可调的MEMS传感器有效
| 申请号： | 202011463363.0 | 申请日： | 2020-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN112573476B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 奚璟倩;赵纯;李城鑫 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02 |
| 代理公司： | 武汉华之喻知识产权代理有限公司 42267 | 代理人： | 廖盈春;曹葆青 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于微机电系统技术领域，公开了一种灵敏度及带宽可调的MEMS传感器，包括敏感模块和检测模块，敏感模块包括负刚度结构和稳定结构；负刚度结构用于减小MEMS传感器的有效刚度并提高器件检测的灵敏度；稳定结构用于稳定负刚度结构并实现MEMS传感器总有效刚度的可调控。稳定结构包括第一稳定电极和第二稳定电极，通过在第一稳定电极和第二稳定电极上施加交流电压来引入高频振动实现负刚度结构的稳定。通过改变交流电压的幅值和频率改变MEMS传感器的总的有效刚度，从而改变传感器的灵敏度。通过调节交流电压的幅值和频率同时也可以调节MEMS传感器的带宽。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 带宽 可调 mems 传感器 | ||
【主权项】：
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