[发明专利]一种新型多层红外探测器及制备方法

摘要

本发明属于半导体的技术领域，公开了一种新型多层红外探测器，包括设置在带读取电路的衬底上的多层阵列排布的像元集合，每个像元均包括含微桥桥面、梁结构、支撑及电连接孔在内的微桥谐振腔结构，相邻两层的像元集合中对应的高层像元与低层像元均相互错开排布，且高层像元中微桥桥面的投影面与低层像元中的梁结构、支撑及电连接孔、相邻像元的间隙的投影面重叠。本发明的多层红外探测器借助错开排布，使高层像元中微桥桥面将低层像元中微桥的梁结构、支撑及电连接孔、相邻像元的间隙覆盖，增加了对红外线的吸收面积，提高红外吸收效率，并在成本可控的前提下提升了产品性能。