[发明专利]一种微型溅射离子泵等离子体诊断装置及诊断方法有效
| 申请号： | 202011467195.2 | 申请日： | 2020-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN112820618B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 郭美如;成永军;孙雯君;耿健;李亚丽;王晓冬;习振华;任正宜;吴成耀 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 代丽 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种微型溅射离子泵等离子体诊断装置。本发明通过设置一个密闭空间，引用朗缪尔探针，配合采用固定流导法，实现了对微型溅射离子泵正常工作时的内部空间电子温度和电子数密度进行检测。同时，利用电机、丝杠、滑块、朗缪尔探针之间的配合，实现了朗缪尔探针在容纳泵腔体内上下移动，进而实现了测量泵内部不同位置的电子温度和电子数密度。此外，通过引入气体微流量计，实现对容纳泵腔体及测试罩内部的压力调节，实现获得不同压力下的电子温度和电子数密度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 溅射 离子 等离子体 诊断 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于兰州空间技术物理研究所，未经兰州空间技术物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011467195.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
