[发明专利]一种肖特基二极管及弱能量收集用整流电路在审

专利信息
申请号: 202011467434.4 申请日: 2020-12-14
公开(公告)号: CN112635576A 公开(公告)日: 2021-04-09
发明(设计)人: 左瑜 申请(专利权)人: 西安科锐盛创新科技有限公司
主分类号: H01L29/872 分类号: H01L29/872;H01L29/165;H01L21/329
代理公司: 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 代理人: 王海栋
地址: 710065 陕西省西安市高新区高新路86号*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种肖特基二极管及弱能量收集用整流电路,肖特基二极管二极管包括:110晶向Si衬底(001);第一Ge层(002)设置于衬底Si(001)上表面;第二Ge层(003)设置于第一Ge层(002)上表面;SiGe层(004)设置于第二Ge层(003)上表面第一区域内;第一电极(005)设置于SiGe层(004)上表面;第二电极(006)设置于第二Ge层(003)上表面第二区域内。本发明将Si元素合金化引入Ge半导体中与金属W形成金半接触可以降低SBD开启电压,选用110晶向Ge并在Ge虚衬底上制备Si0.2Ge0.8合金可提升电子迁移率,总体可提升弱能量密度下SBD整流效率。
搜索关键词: 一种 肖特基 二极管 能量 收集 整流 电路
【主权项】:
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