[发明专利]包括可调谐的亥姆霍兹谐振器的微机械超声换能器有效
| 申请号： | 202011471688.3 | 申请日： | 2020-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN112974201B | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | S·阿多尔诺;R·卡尔米纳蒂 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 罗利娜 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开的实施例涉及包括可调谐的亥姆霍兹谐振器的微机械超声换能器。提出了一种微机械超声换能器。该微机械超声换能器包括用于发射/接收超声波的膜元件，在超声波的发射/接收期间，膜元件以相应的谐振频率关于平衡位置振荡。膜元件的平衡位置可以根据施加到膜元件的偏置电信号而可变化。该微机械超声换能器进一步包括帽结构，在膜元件上方延伸；帽结构在其与膜元件之间标识出腔体，该腔体的体积根据膜元件的平衡位置而可变化。帽结构包括用于将超声波输入到腔体/从腔体输出超声波的开口。帽结构和膜元件用作可调谐的亥姆霍兹谐振器，由此谐振频率根据腔体的体积而可变化。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 调谐 亥姆霍兹 谐振器 微机 超声 换能器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于意法半导体股份有限公司，未经意法半导体股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011471688.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
