[发明专利]阈值电压的测量方法以及晶圆测试机台在审
| 申请号： | 202011473363.9 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN112666440A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 陈静;葛浩;吕迎欢;谢甜甜;王青 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R19/00 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种阈值电压的测量方法，包括如下步骤：在晶体管的栅极施加电压Vth0，源极与漏极之间施加一预设电压Vsd；测定源漏之间初始电流Id0；在所述晶体管的栅极均叠加电压偏移Vdelta1；再次测定源漏之间的电流Id1；评估|Id1‑Icon|是否小于一预设误差值，所述Icon为恒定的归一化电流，若小于则记录Vth0‑Vdelta1为该晶体管的阈值电压，若大于，则再次在第二晶体管的栅极均叠加电压偏移Vdelta2，所述Vdelta2的数值与Id1‑Icon呈一致性正相关。本发明考虑到测试获得的电流与归一化电流的数值关系，测试电流与归一化电流的差越大，则后续叠加的电压偏移就越大，两者呈一致性正相关，以使测试能够更迅速的逼近真实的阈值电压，提高了测试效率，有效降低相关测试时间。 | ||
| 搜索关键词： | 阈值 电压 测量方法 以及 测试 机台 | ||
【主权项】：
暂无信息
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