[发明专利]盖板承载装置、盖板清洗装置和盖板的清洗方法有效
| 申请号： | 202011473481.X | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN112620254B | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 高广滨 | 申请（专利权）人： | 霸州市云谷电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 娜拉 |
| 地址： | 065700 河北省廊坊市*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种盖板承载装置、盖板清洗装置和盖板的清洗方法，盖板承载装置包括本体和设置于本体的气体通道，其中，本体包括两个沿第一方向分立的侧壁，与侧壁连接的底壁和由侧壁与底壁围合形成的容纳腔，容纳腔与曲面盖板的形状相匹配；气体通道的出气口设置于侧壁，气体通道用于向侧壁背离底壁的一侧吹出具有预设角度的气体，以阻挡流动体对曲面盖板的功能涂层的侵蚀。该盖板承载装置可防止位于曲面盖板朝向容纳腔一侧的表面受到流动体的破坏，从而可以保护曲面盖板以避免其性能受损、提高曲面盖板的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 盖板 承载 装置 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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