[发明专利]硅基电子特气的制备方法及硅基电子特气的生产系统有效
| 申请号： | 202011474790.9 | 申请日： | 2020-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN112573522B | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 宗冰;王生红;张宝顺;陈海宝;刘建华;刘廷泽;王体虎 | 申请（专利权）人： | 亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 张丽 |
| 地址： | 810007 青海*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种硅基电子特气的制备方法及硅基电子特气的生产系统，该制备方法包括：将包括气态三氯氢硅和氢气在内的反应原料混合，反应得到固体硅和包含硅基电子特气Si |
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| 搜索关键词： | 电子 制备 方法 生产 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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