[发明专利]一种真空蒸镀用基片辅助降温系统及工作方法有效
| 申请号： | 202011474873.8 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN112663013B | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 熊继光;赵志国;秦校军;肖平;赵东明;邬俊波;董超;刘家梁;王百月;冯笑丹;梁思超;王森;张杰 | 申请（专利权）人： | 华能新能源股份有限公司;中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/56;C23C14/24;H01L31/18 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 李鹏威 |
| 地址： | 100036 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空蒸镀用基片辅助降温系统及工作方法，包括设置在蒸镀舱室内的水冷基板，以及开设在水冷基板上的进水口和出水口，所述水冷基板上开设通孔，安装有第一阀门的连接管一端与通孔连接，连接管的另一端与舱室外液氮存储装置连通；所述蒸镀舱还连接有分子泵，所述分子泵与蒸镀仓之间通过管道连通，管道上安装有第二阀门。在传统水冷降温方法的基础上，添加辅助降温装置，在传统水冷无法满足降温需求的时候，对基片进行强制降温，提高降温效率，避免电池膜层过热受损。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 蒸镀用基片 辅助 降温 系统 工作 方法 | ||
【主权项】：
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