[发明专利]一种PP头HOLDER水平检测治具及其使用方法有效
| 申请号： | 202011476146.5 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN112599448B | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 孟强;许秀真;刘明群 | 申请（专利权）人： | 江苏汇成光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/68 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 李嘉宁 |
| 地址： | 225128 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种PP头HOLDER水平检测治具及其使用方法，所述检测治具包括治具固定杆和水平检测板，所述治具固定杆的底端与水平检测板的顶面之间固定连接，所述治具固定杆与水平检测板之间呈垂直设置，且治具固定杆呈圆柱形结构，所述治具固定杆的中心轴线与水平检测板的底平面之间呈90°相交设置，所述治具固定杆的直径尺寸为3㎜，且治具固定杆的长度尺寸为13㎜，所述水平检测板的底部形状结构呈倒置的梯形结构，且水平检测板的长度尺寸为19㎜。该PP头HOLDER水平检测治具及其使用方法，在更换PP头滑块后使用该治具检测和校正HolderXY方向水平度，确保Holder水平度水平，从而提高机台运行稳定性，规避此类产品品质异常。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pp holder 水平 检测 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
