[发明专利]基于多振膜耦合的压电微机械超声换能器有效
| 申请号： | 202011485094.8 | 申请日： | 2020-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN112718437B | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 孙成亮;王磊;吴志鹏;朱伟;胡博豪;林炳辉;占惠花 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 胡甜甜 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于多振膜耦合的压电微机械超声换能器。该MEMS压电微机械超声换能器包括沉积于衬底上面的膜片以及活塞振膜。所述活塞振膜可替代MEMS压电微机械超声换能器的压电振膜，将振动模式从传统的高斯模态转换为活塞模式。工作在活塞模式下，换能器可以推动更多的空气，提高输出功率。活塞振膜可以改变换能器的刚度和质量，从而实现频率的调节。此外，通过引入活塞振膜，换能器可以同时工作在多种模态下，并且通过活塞振膜与MEMS压电微机械超声换能器压电膜片之间的互辐射作用，极大地提升了换能器的带宽。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 多振膜 耦合 压电 微机 超声 换能器 | ||
【主权项】：
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