[发明专利]聚合物、光敏性树脂组合物、图案形成方法、固化膜、电子部件有效
| 申请号： | 202011486388.2 | 申请日： | 2020-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN113527680B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 德米特里·祖巴列夫;浦野宏之;竹村胜也;饭尾匡史;本田和也;河合义夫 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社;国际商业机器公司 |
| 主分类号： | C08G73/10 | 分类号： | C08G73/10;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/038 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;谢顺星 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明的技术问题在于提供一种聚合物，该聚合物能够用作可溶于碱性水溶液、可形成微细图案、可获得高分辨率，并且即使在低温下进行固化时机械特性仍良好的正型光敏性树脂组合物及负型光敏性树脂组合物的基础树脂。此外，还提供使用了所述聚合物的正型光敏性树脂组合物及负型光敏性树脂组合物。所述聚合物的特征在于，含有下述通式(1)和/或(2)表示的结构单元。 |
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| 搜索关键词： | 聚合物 光敏 树脂 组合 图案 形成 方法 固化 电子 部件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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