[发明专利]镀膜修正掩膜板及蒸镀系统有效
| 申请号： | 202011488995.2 | 申请日： | 2020-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN112647041B | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 张兴中 | 申请（专利权）人： | 业成科技（成都）有限公司;业成光电（深圳）有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人： | 杨冬梅;张行知 |
| 地址： | 611730 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种镀膜修正掩膜板和蒸镀系统，包括掩膜基板及多个掩膜调节板，掩膜调节板与掩膜基板的形状及尺寸相匹配，使得掩膜基板形成底板掩膜，掩膜调节板置于掩膜基板上形成可调掩膜；多个掩膜调节板和掩膜基板共同界定形成镀膜修正掩膜板的形状；掩膜调节板被构造为能够沿第一方向滑动地连接于掩膜基板一侧，当掩膜调节板沿第一方向滑动时，进而整个镀膜修正掩膜板的形状改变；当镀膜光谱曲线发生改变时，不需要另行重新修剪甚至制作新的镀膜修正掩膜板，直接实现了镀膜修正掩膜板自身形状可调节的功能，提高了镀膜的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 修正 掩膜板 系统 | ||
【主权项】：
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