[发明专利]紫外发光二极管的外延片及其制备方法有效
申请号: | 202011489457.5 | 申请日: | 2020-12-16 |
公开(公告)号: | CN112687773B | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
发明(设计)人: | 乔楠;李昱桦;刘旺平;刘源 | 申请(专利权)人: | 华灿光电(苏州)有限公司 |
主分类号: | H01L33/02 | 分类号: | H01L33/02;H01L33/00 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 吕耀萍 |
地址: | 215600 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本公开提供了一种紫外发光二极管的外延片及其制备方法,属于发光二极管领域。所述外延片包括:衬底和顺次层叠在所述衬底上的低温缓冲层、第一未掺杂AlGaN层、N型半导体层、有源层和P型半导体层,所述N型半导体层包括顺次层叠在所述第一未掺杂AlGaN层上的高掺杂N型层和低掺杂N型层,所述低掺杂N型层包括层叠在所述高掺杂N型层上的第一低掺杂层,所述高掺杂N型层和所述第一低掺杂层均包括交替分布的多个AlGaN层和多个SiN层,所述高掺杂N型层中Si掺杂浓度高于所述低掺杂N型层中Si掺杂浓度。本公开能够提高紫外发光二极管的电性。 | ||
搜索关键词: | 紫外 发光二极管 外延 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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