[发明专利]一种含低浓度HF的HCl气体深度脱氟干燥的FTrPSA分离与净化方法有效
申请号: | 202011490433.1 | 申请日: | 2020-12-16 |
公开(公告)号: | CN112624050B | 公开(公告)日: | 2022-09-13 |
发明(设计)人: | 汪兰海;钟娅玲;钟雨明;陈运;唐金财;蔡跃明 | 申请(专利权)人: | 浙江天采云集科技股份有限公司 |
主分类号: | C01B7/07 | 分类号: | C01B7/07;C01B7/19 |
代理公司: | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人: | 轩勇丽 |
地址: | 314400 浙江省嘉兴市海宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及以含少量氟化氢/水杂质的工业级氯化氢气体为原料制备电子级HCl的净化提纯技术领域,更具体的说是涉及一种含低浓度HF的HCl气体深度脱氟干燥的FTrPSA分离与净化方法,利用工业级氯化氢气体中有效组分HCl与少量的主要杂质组分氟化氢、水,以及微量或痕量的氟硅烷、氯硅烷、二氧化碳、水溶性金属离子及胶体颗粒等杂质之间本身在不同压力与温度下的吸附/精馏/膜分离系数及物理化学性质的差异性,采取以中温变压吸附工序的吸附与解吸循环操作之间达到一种动态平衡为目的并与HCl精馏、膜分离耦合,使得中温变压吸附过程中吸附与解吸易于匹配从而达到一种平衡的循环操作来进行HCl气体深度脱氟干燥的分离与净化,从而实现电子级HCl产品的制取。 | ||
搜索关键词: | 一种 浓度 hf hcl 气体 深度 干燥 ftrpsa 分离 净化 方法 | ||
【主权项】:
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