[发明专利]一种氮化铝陶瓷基板表面覆铜方法有效

专利信息
申请号: 202011492213.2 申请日: 2020-12-17
公开(公告)号: CN112608165B 公开(公告)日: 2022-09-23
发明(设计)人: 田无边;杨勇;刘乔丹 申请(专利权)人: 东南大学
主分类号: C04B37/02 分类号: C04B37/02
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 柏尚春
地址: 211102 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种氮化铝陶瓷基板表面覆铜方法,包括以下步骤:步骤一:将氮化铝陶瓷片放置在水溶液中进行水解,然后通过热处理,使得氮化铝表面水解产物分解成为Al2O3陶瓷层;步骤二:将预氧化的Cu与预处理的氮化铝表面相对贴合,在低于Cu熔点温度下烧结,生成表面覆铜的氮化铝陶瓷基板。本发明通过水解和热处理手段在氮化铝表面形成Al2O3陶瓷层,水解产物分解形成的Al2O3陶瓷层晶型、厚度可控,有利于后续覆铜烧结。
搜索关键词: 一种 氮化 陶瓷 表面 方法
【主权项】:
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