[发明专利]一种空间电子激发的反射式深紫外光源有效
| 申请号： | 202011493581.9 | 申请日： | 2020-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN112687520B | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 沈岩;邓少芝;邢阳;柯彦淋;陈军 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | H01J61/06 | 分类号： | H01J61/06;H01J61/30 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 张金福 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种空间电子激发的反射式深紫外光源，包括具有导电特性的阴极基板、隔离体、具有导电特性的阳极基板、外壳、两条电极线、石英玻璃；阴极基板设有抛物面结构，抛物面结构的底部开设有通孔，且抛物面结构上设有冷阴极结构；阳极基板上设有位置可调节的超宽禁带半导体；阴极基板与阳极基板相向设置，并通过隔离体隔开形成真空间隙结构；阴极基板、隔离体、阳极基板形成一个整体置于外壳中；外壳设有开口，开口内镶嵌石英玻璃形成石英出光口；超宽禁带半导体、通孔、石英出光口处于同一水平线上；所述外壳真空封装；阴极基板、阳极基板通过电极线连接脉冲驱动电路。本发明能有效地提升外量子效率，产生高效的深紫外发光。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空间 电子 激发 反射 深紫 光源 | ||
【主权项】：
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