[发明专利]抛光装置及抛光装置的使用方法

摘要

本发明提供了一种抛光装置，所述抛光装置包括球面轴承、与所述球面轴承连接以驱动所述球面轴承的加载杆、用以驱动所述加载杆移动的第一驱动组件、设置在所述球面轴承下方的吸盘、设置在所述吸盘下方的工作台、用以检测所述吸盘与所述工作台之间的抛光压力的压力检测装置、与所述吸盘同轴设置的回转轴承、连接所述回转轴承与所述吸盘的多个传动销、用以带动所述回转轴承转动的第二驱动组件，所述吸盘的上表面开设有多个沉头孔，所述传动销的下端与所述沉头孔间隙配合。本发明的抛光装置，通过设置压力检测装置，从而可以检测抛光压力，从而方便及时对抛光压力做出调整，保证抛光压力在合理范围内。