[发明专利]一种掺杂的IGZO材料的制备方法在审
| 申请号： | 202011494732.2 | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN112479683A | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 王晨;丁金铎;葛春桥;柳春锡;金志洸;崔恒 | 申请（专利权）人： | 中山智隆新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/622;C04B35/64 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 尹凡华 |
| 地址： | 528400 广东省中*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明属于靶材制造技术领域，公开了一种掺杂的IGZO材料的制备方法。该制备方法，包括以下步骤：(1)向ZnO、In |
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| 搜索关键词： | 一种 掺杂 igzo 材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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