[发明专利]制造显示设备的方法在审

专利信息
申请号: 202011496485.X 申请日: 2020-12-17
公开(公告)号: CN113078187A 公开(公告)日: 2021-07-06
发明(设计)人: 成始珍;金孝珉;朴一秀;兪智娜;韩宗锡 申请(专利权)人: 三星显示有限公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 张逍遥;韩芳
地址: 韩国京畿*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 公开了一种制造显示设备的方法,该方法包括:在基底上形成像素电极;形成像素限定层,像素限定层至少覆盖像素电极的边缘,并且包括使像素电极的一部分暴露的开口;通过将氧气(O2)添加到像素电极的被像素限定层中的开口暴露的表面来执行第一干法清洗,其中,以在约1200sccm至约3600sccm的范围内的流速添加氧气(O2);在第一干法清洗之后执行第二干法清洗;在第二干法清洗之后在像素电极上形成中间层;以及在中间层和像素限定层上形成对电极。
搜索关键词: 制造 显示 设备 方法
【主权项】:
暂无信息
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