[发明专利]具有改进结构的、带有压电止动的微机电镜设备有效
| 申请号： | 202011496567.4 | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN113009760B | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | N·博尼;R·卡尔米纳蒂;M·默利 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G03B21/28 | 分类号： | G03B21/28;G02B26/10;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 罗利娜 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的各实施例涉及具有改进结构的、带有压电止动的微机电镜设备。一种微机电镜设备具有限定腔的固定的结构。承载反射表面的可倾斜结构被弹性地悬置在腔上方，可倾斜结构具有在水平面中的主延伸。弹性元件被耦合到可倾斜结构，并且承载压电材料的相应的区域的至少一个第一对驱动臂是可偏置的，以导致可倾斜结构围绕与水平面的第一水平轴线平行的至少一个第一旋转轴线的旋转。驱动臂被弹性地耦合到第一旋转轴线的相对侧上的可倾斜结构，并且被插入在可倾斜结构与固定结构之间。驱动臂沿着与水平面横向的正交轴线具有一厚度，该厚度小于被耦合到可倾斜结构的至少一些弹性元件的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 改进 结构 带有 压电 微机 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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