[发明专利]小型手动探针台在审
| 申请号： | 202011496755.7 | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN112684222A | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 荆晓冬;刘晨;王一帮;任宇龙;常青松;乔玉娥;吴爱华;栾鹏 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 王朝 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种小型手动探针台，属于器件测试技术领域，包括底板、载片台、XYZ三轴位移台、显微镜滑台、Z向调整杆以及显微镜；载片台设有真空腔和与真空腔连通的吸附孔；XYZ三轴位移台滑动设于底板上，用于连接并精调探针的位置；XYZ三轴位移台为两组，左右对称设于载片台的两侧；XYZ三轴位移台借助X向直线导轨粗调到载片台的位移；显微镜滑台滑动设于底板上；Z向调整杆固定于显微镜滑台上，用于安装显微镜并精调显微镜的Z向位移；显微镜安装于Z向调整杆上。本发明提供的小型手动探针台，结构简单，使用方便，制作成本低，粗调和精调均可手动操作，能够满足芯片测试需要，有利于裸芯片研发阶段成本的降低。 | ||
| 搜索关键词： | 小型 手动 探针 | ||
【主权项】：
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