[发明专利]基于MEMS气体传感器阵列的气体检测系统有效
| 申请号： | 202011503218.0 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN112730527B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 许磊;谷文先;祁伟杰;王晶 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 姚璐华 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于MEMS气体传感器阵列的气体检测系统，包括：MEMS气体传感器阵列、分时复用的多通道电阻频率转换电路、可编程的加热器电路、EEPROM、可修调的片内振荡器、上电自复位电路以及数字控制电路；所述MEMS气体传感器阵列包括多个气体传感器；所述气体传感器包括加热器电阻和气敏材料电阻；其中，所述MEMS气体传感器阵列用于将环境中的气体信息转换为所述气敏材料电阻的变化；所述多通道电阻频率转换电路用于将选中通道的气敏材料的电阻值转化为相应频率的方波信号；所述片内振荡器用于产生稳定的系统所需时钟信号。应用本发明提供的技术方案，可以降低工作电压和电路功耗，并提高气体传感器中气敏材料电阻的检测范围与检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 气体 传感器 阵列 检测 系统 | ||
【主权项】：
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