[发明专利]气体检测系统和方法有效
| 申请号： | 202011503691.9 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN112505108B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 崔进;曾怀望;汪浩鹏;田旺;高贤永 | 申请（专利权）人： | 联合微电子中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京市汉坤律师事务所 11602 | 代理人： | 李熙;吴丽丽 |
| 地址： | 401332 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 一种气体检测系统，包括场效应晶体管和检测装置。场效应晶体管包括源电极、漏电极、气体感测层、栅电极和第一介电材料层。源电极和漏电极相隔开。气体感测层包括气体敏感介质，该气体感测层的一部分在源电极和漏电极之间延伸并且与源电极和漏电极电连接。第一介电材料层位于气体感测层和栅电极之间。检测装置包括外壳、绝缘材料层和开口。外壳限定检测通道。场效应晶体管的气体感测层的至少一部分表面暴露在检测通道中以用于与通过检测通道的待检测气体相接触。开口形成在外壳上以使得检测通道通过开口于检测装置外的气体连通。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
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