[发明专利]一种简易式电子束模具加工机器在审
| 申请号： | 202011505152.9 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN112530770A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 王荣;齐文亮;魏德强;辛喆;殷学俊 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | H01J33/02 | 分类号： | H01J33/02 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 蒋杰 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种简易式电子束模具加工机器，包括电子枪、聚焦线圈和偏转线圈；所述电子枪的一端设有用于射出电子的出口；所述聚焦线圈和所述偏转线圈依次设置在所述出口的外侧，并在真空的环境下使所述电子枪射出的电子形成电子束；还包括真空形成机构；所述真空形成机构处于所述电子枪的外周并通过驱使空气流动以形成预设的真空度。本发明的有益效果是：相较于现有的电子束加工机器不需在专门的真空室进行，除去真空室也除去抽真空的操作，提高加工效率且节约成本，同时随时随地可以进行加工，极大的提高了加工的便捷性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 简易 电子束 模具 加工 机器 | ||
【主权项】：
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