[发明专利]等离子体产生源的检查方法和负载在审
| 申请号： | 202011505453.1 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN113038677A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 八幡慎太郎 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种等离子体产生源的检查方法和负载，能够进行特性检查。在一个例示性的实施方式中，提供一种等离子体产生源的检查方法。该方法包括以下工序：配置能够与等离子体产生源进行电容耦合和电感耦合的负载；以及一边向等离子体产生源提供基准信号，一边接收来自等离子体产生源的信号，并求出等离子体产生源的特性。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 生源 检查 方法 负载 | ||
【主权项】：
暂无信息
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