[发明专利]一种基于GOI或SOI的分束/合束的波导及其制备方法在审
| 申请号： | 202011505861.7 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN112596156A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 乔忠良;赵志斌;李再金;陈浩;刘国军;李林;曲轶 | 申请（专利权）人： | 海南师范大学 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/125;G02B6/136 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 符继超 |
| 地址： | 571158 *** | 国省代码： | 海南;46 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于GOI或SOI的分束/合束波导结构，包括：衬底、绝缘介质低折射率层和分束/合束波导；分束/合束波导和绝缘介质低折射率层从上至下依次制备在衬底的上表面；分束/合束波导包括单路锥形波导、双路楔形波导和连接波导；单路锥形波导设置于左楔形波导和右楔形波导之间；还针对该基于GOI或SOI的分束/合束的波导结构公开了一种上述波导结构的制备方法。本发明中的结构使得GOI或SOI的分束/合束的波导具有确定的光功率分束和合束能力，使得GOI或SOI分束/合束波导具有低成本、高分光效率、高模场光精确度和集成度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 goi soi 波导 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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