[发明专利]成膜装置在审
| 申请号： | 202011507274.1 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN113005422A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 岩崎达哉;内田敏治 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24;C23C14/34;C23C14/04 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 邓宗庆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种成膜装置，能够在不阻碍成膜源的移动的情况下稳定且再现良好地进行成膜。另外，实现成膜装置的耐久性的提高。成膜装置具有成膜室、成膜源以及连结构件，所述成膜源能够在所述成膜室内移动，所述连结构件连结所述成膜室的壁部和所述成膜源，向所述成膜源供给电力的配线插通于所述连结构件的内部，其中，所述连结构件具有至少一个移动体和将所述移动体与所述成膜室的壁部或所述成膜源连接的连接部，在所述连接部的内部设置有与所述配线连接的非接触送电受电线圈。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
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