[发明专利]一种集成的偏振旋转调制器件及其制备方法在审
申请号: | 202011509314.6 | 申请日: | 2020-12-18 |
公开(公告)号: | CN112612079A | 公开(公告)日: | 2021-04-06 |
发明(设计)人: | 王丹丹;刘宇;祝宁华;王旭阳;李明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G02B6/126 | 分类号: | G02B6/126;G02F1/035 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 王江选 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种集成的偏振旋转调制器件及其制备方法,偏振旋转调制器件包括:偏振旋转部分与调制部分;其中,偏振旋转部分用于将入射光分解在两个相互垂直的方向,两个相互垂直的方向的折射率不同,以使入射光的偏振方向产生旋转,偏振旋转部分与调制部分的晶向不同,偏振旋转部分与调制部分均具有波导结构,在偏振旋转部分与调制部分相结合的端面,偏振旋转部分与调制部分的波导结构实现端面耦合。本发明提供的偏振旋转调制器件无需刻蚀复杂的渐变结构,可以降低制备难度和结构的复杂度,并且能够同时适用于脊波导和体波导。 | ||
搜索关键词: | 一种 集成 偏振 旋转 调制 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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