[发明专利]半导体元件在审
申请号: | 202011509547.6 | 申请日: | 2020-12-18 |
公开(公告)号: | CN113013246A | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 王匀远;萧至翔;倪懿池;吴志毅 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/10;H01L29/16;H01L29/161;H01L29/24 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 中国台湾新竹市*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种半导体元件包括基板、通道堆叠、源极/漏极接触件,及栅电极。通道堆叠在基板之上且包括2D通道层及阻障层。阻障层的能量带隙大于2D通道层的能量带隙。源极/漏极接触件与通道堆叠接触。栅电极在基板上方。 | ||
搜索关键词: | 半导体 元件 | ||
【主权项】:
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