[发明专利]一种硅基红外测温滤光片及制备方法在审
| 申请号： | 202011510948.3 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN112505812A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 李晓飞;李瑞博 | 申请（专利权）人： | 洛阳鼎铭光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G01J5/08;C23C14/16;C23C14/08;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 郑州银河专利代理有限公司 41158 | 代理人： | 裴景阳 |
| 地址： | 471000 河南省洛*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硅基红外测温滤光片，包括单晶硅基底、长波通膜系结构及短波通膜系结构，其中单晶硅基底为横断面呈矩形的板状结构，长波通膜系结构包覆在单晶硅基底上端面，短波通膜系结构包覆在单晶硅基底下端面，且长波通膜系结构及短波通膜系结构的厚度均不大于1毫米，且长波通膜系结构及短波通膜系结构总厚度为单晶硅基底。其制备方法包括夹持定位，单晶硅基底预热，离子轰击，气象沉积及出炉保存等五个步骤。本发明较传统的滤光片，一方面可以实现了传统滤光片实现不了的宽波段、高精度的温度测量；另一方面生产加工工艺简单，易实现规模化、批量化作业，同时另可提高镀膜层与基板间连接关系的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红外 测温 滤光 制备 方法 | ||
【主权项】：
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