[发明专利]制备钙钛矿半导体光电器件的在线实时监测系统

摘要

一种制备钙钛矿半导体光电器件的在线实时监测系统，属于新型能源、材料和电子技术领域。本发明的目的是通过在现有制备钙钛矿半导体的手套箱系统上做一定的改进，从而将光源系统、光谱仪系统、光学显微镜及摄像头系统、热像仪系统各个子系统整合到一起的制备钙钛矿半导体光电器件的在线实时监测系统。本发明分为机械部分和电子控制部分。本发明对比分析基于不同时间尺度的多个设备的监测结果，有助于明确钙钛矿半导体生长过程中的形貌变化，对钙钛矿半导体生长过程进行清晰研究，为实现高性能的钙钛矿光电器件提供了监测技术，有利于加快钙钛矿光电器件应用进程。