[发明专利]一种微针阵列式脑机接口器件及其制备方法有效
| 申请号： | 202011515537.3 | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN112631425B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 刘景全;徐庆达;谢凡 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G06F3/01 | 分类号： | G06F3/01 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 徐红银;赵楠 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微针阵列式脑机接口器件及其制备方法，包括：采用非导电材料作为针间绝缘层，在针间绝缘层制备若干通孔；在导电材料层上制备若干金属焊盘；将导电材料层设置于针间绝缘层下方，并将导电材料层的上表面与针间绝缘层的下表面连接；将导电材料层加工成呈阵列分布的微柱状结构，使微柱状结构之间相互绝缘；将微柱状结构加工成底端为针尖的微针结构，形成呈阵列分布且针尖朝下的微针阵列层；在微针阵列层的上方制备用于连接外部电路的外部引线；在微针阵列层的针尖上制备电极点；得到微针阵列式脑机接口器件。本发明具备减少微针阵列式脑机接口器件的工艺步骤，提高生产效率和成品率，降低器件的加工成本等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阵列 式脑机 接口 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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