[发明专利]一种低温存储器件的制备和调控方法有效

专利信息
申请号: 202011517515.0 申请日: 2020-12-21
公开(公告)号: CN112635490B 公开(公告)日: 2023-09-29
发明(设计)人: 陈立明;周健;丁健翔;张骁;孙正明;徐东 申请(专利权)人: 安徽工业大学
主分类号: H10B51/30 分类号: H10B51/30;H01L29/47;H01L29/51;H01L29/78;H01L21/336
代理公司: 安徽顺超知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34120 代理人: 徐文恭
地址: 243002 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了电子科学技术领域的一种低温存储器件,具有低温高电流开关特性且可实现外场电控,以铁电材料BaTiO3作为隧穿层,分别以铁磁金属氧化物La0.7Sr0.3MnO3、n型掺杂Nb:SrTiO3和Au作为低温存储器件的上电极、底电极和顶电极;本发明通过代替传统贵金属电极设计的铁磁金属氧化物电极/铁电层/半导体电极型铁电隧道结存储器件,在35K的低温下可以实现电流开关比(电流开关比ON/OFF,开态隧穿电流值与关态隧穿电流值之比)达到~105,此外,本发明制备工艺简易,操作简便,成本低廉,可在低温下保持较好的信息存储及转换的性能,本发明中的低温存储器件通过电场调控及温度调控克服传统铁电隧道结在低温下性能缺陷,拓宽了La0.7Sr0.3MnO3/BaTiO3/Nb:SrTiO3铁电隧道结存储器使用范围和使用性能。
搜索关键词: 一种 低温 存储 器件 制备 调控 方法
【主权项】:
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