[发明专利]一种面阵扫频测量装置和方法在审
申请号: | 202011517718.X | 申请日: | 2020-12-21 |
公开(公告)号: | CN112684460A | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
发明(设计)人: | 于龙;雷力;殷晓君;鄢淦威;陈哲锋 | 申请(专利权)人: | 武汉光目科技有限公司 |
主分类号: | G01S17/08 | 分类号: | G01S17/08;G01S7/481;G01B11/06 |
代理公司: | 武汉华之喻知识产权代理有限公司 42267 | 代理人: | 李君;李欢 |
地址: | 430075 湖北省武汉市东湖高新*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明提供了一种面阵扫频测量装置和方法,属于激光测距技术领域,装置包括可调谐激光器、准直器、扩束器、相位阵列、透镜阵列、第一透镜、分束器、镜头、相机、采集控制单元和反射元件;可调谐激光器用于提供激光光束;相位阵列用于对扩束后的平行光相位调制;透镜阵列用于对每个相位阵列输出的光束聚焦;分束器用于将第一透镜输出的光束分为反射光和透射光;反射元件用于将透射光反射形成参考光;工作时被测物体反射反射光形成信号光;其中,信号光和参考光干涉形成干涉图案;相机用于采集干涉图像;采集控制单元用于根据干涉图像分析被测物体的表面形貌。本发明通过多个独立散斑的叠加,实现了降低散斑对比度的效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 面阵扫频 测量 装置 方法 | ||
【主权项】:
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