[发明专利]一种基于超短脉冲激光实现极深亚波长周期性结构的方法在审
| 申请号： | 202011519009.5 | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN112643194A | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 邓国亮;肖垚;杨火木 | 申请（专利权）人： | 四川大学 |
| 主分类号： | B23K26/0622 | 分类号： | B23K26/0622;B23K26/70 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610065 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 我们提出了一种基于超短脉冲激光实现极深亚波长周期性结构的方法。该方法通过薄膜辅助，可以实现极深亚波长周期性结构的制备，其操作过程简单，制造成本低廉，可加工材料广泛，尤其是解决了对透明及超脆材料难以加工难题（可以极大的降低材料加工阈值），可实现入射激光波长四十分之一的极深亚波长周期性结构的制造，也可实现快速大面积阵列制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 超短 脉冲 激光 实现 极深亚 波长 周期性 结构 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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