[发明专利]一种具有多轴联动机械手的晶圆自动传输装置

摘要

本发明公开了一种具有多轴联动机械手的晶圆自动传输装置，包括机架；固定安装在机架内的机械手传动机构和风箱传动机构；与机械手传动机构传动连接的机械手机构，所述机械手机构通过数个机械手传动组件联动形成多轴联动机械手，且机械手机构上设置有夹持机构；与风箱传动机构传动连接的风箱机构，所述风箱机构活动安装在机架上。本发明通过机械手机构多轴联动提供XY方向运动，机械手传动机构提供上下Z轴运动，可以将晶圆上料至不同加工机型的对应位置，可有效解决单台上料设备无法兼容不同的加工机型的问题，避免了需要配置不同款式的定制版上料设备，导致了企业成本的急剧上升的问题，具有适用性强的优点。