[发明专利]一种颗粒分析装置及颗粒分选设备在审
申请号: | 202011522569.6 | 申请日: | 2020-12-21 |
公开(公告)号: | CN112683759A | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
发明(设计)人: | 侯烨 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G01N15/14 | 分类号: | G01N15/14 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种颗粒分析装置及颗粒分选设备。该颗粒分析装置包括:探测光产生模块,用于产生探测光;所述探测光产生模块包括光源单元和光线调整单元,所述光线调整单元用于将所述光源单元发出的光线分光出波长可调换和/或波束可增减的探测光;光学探测模块,用于对待测颗粒被探测光照射后产生的光信号进行分析。本发明的方案实现了方便灵活的对探测光的波长进行调整。 | ||
搜索关键词: | 一种 颗粒 分析 装置 分选 设备 | ||
【主权项】:
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