[发明专利]一种颗粒分析设备及颗粒分析方法在审
| 申请号： | 202011522573.2 | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN112683741A | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 蓝科 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/02 | 分类号： | G01N15/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种颗粒分析设备及颗粒分析方法。该颗粒分析设备包括：探测光产生模块、液流模块、第一探测模块和第二探测模块；其中，液流模块包括缓冲区和流动区，缓冲区用于容纳包含有待测颗粒的待测样本，流动区用于接收由缓冲区流出的待测样本；探测光产生模块用于产生探测光，并将所述探测光照射到所述缓冲区和流动区的待测颗粒上；所述第一探测模块用于对所述缓冲区中的所述待测颗粒被所述探测光照射后产生的散射光进行相关性分析，确定所述待测颗粒的尺寸分布；所述第二探测模块用于对所述流动区中流动的所述待测颗粒被所述探测光照射后产生的光信号进行分析。本发明实施例实现了对小颗粒尺寸的检测，增大了设备的测量范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 颗粒 分析 设备 方法 | ||
【主权项】：
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