[发明专利]一种可提拉的直拉法单晶硅夹持机构及工作方法有效
| 申请号： | 202011523381.3 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112725879B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 苏文佳;李九龙 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可提拉的直拉法单晶硅夹持机构及工作方法，主要包括电动推杆、单晶硅棒、电动滑块、夹持环机构、电动导轨、凸轴；炉壳上部设有套筒，所述凸轴设于所述电动导轨上部，所述电动推杆与所述凸轴通过螺纹连接；所述电动滑块一侧存在双层凹槽；所述夹持环机构分为夹持基座和夹持环，所述夹持基座侧部的旋块与双层凹槽嵌入配合；所述夹持环设有滚轮，两个夹持环通过插柱与凹槽配合对接。使用该装置时需将硅棒拉制出腰部，电动推杆推动凸轴，带动电动导轨从两侧向中心移动，使夹持环机构夹持住腰部，防止硅棒晃动，同时协助提拉线提拉，降低负载，并防止因单晶硅棒重量过大导致细颈断裂，有利于减小安全隐患并提升单晶硅质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可提拉 直拉法 单晶硅 夹持 机构 工作 方法 | ||
【主权项】：
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