[发明专利]微动台及运动装置有效
| 申请号： | 202011523638.5 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112259488B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 袁嘉欣;江旭初;吴火亮;陈啸虎 | 申请（专利权）人： | 上海隐冠半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L21/687 |
| 代理公司： | 上海上谷知识产权代理有限公司 31342 | 代理人： | 蔡继清 |
| 地址： | 200135 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微动台，包括：载台；旋转底座，位于载台下方；旋转驱动装置，包括驱动装置动子和驱动装置定子，驱动装置定子相对于旋转底座固定，驱动装置动子相对于载台固定；第一垂向移动装置，构造成能够驱动旋转底座垂直移动；微动底座，相对于微动底座垂向可滑动地连接至微动底座；柔性连接件，包括弹性片，弹性片水平径向延伸，且弹性片的径向外端连接至微动底座，弹性片的径向内端连接至旋转底座；以及浮动力补偿装置，位于旋转底座下方并构造成能够对旋转底座进行力补偿。本发明提供的微动台能够实现所承载对象在Rx/Ry方向的精确定位，并解决平面运动装置双边驱动不同步以及由于受热变形所造成的运动卡滞，导向装置寿命缩短等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 微动 运动 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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