[发明专利]一种单晶硅夹持爪装置及其工作方法有效
申请号: | 202011525157.8 | 申请日: | 2020-12-22 |
公开(公告)号: | CN112725885B | 公开(公告)日: | 2022-02-15 |
发明(设计)人: | 苏文佳;张振;李九龙 | 申请(专利权)人: | 江苏大学 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32;C30B15/30;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 212013 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种单晶硅夹持爪装置,包括伸缩杆,内层套筒,电动推拉机构,外层套筒,连接部及夹持爪机构;电动推拉机构包括电机和推拉杆,通过螺栓固定在内层套筒上;夹持爪机构包括第一联动杆、第二联动杆及弯爪;使用该装置时需将单晶硅棒拉制出腰部,控制电动推拉机构推动外层套筒向下移动,带动联动杆使弯爪向内合拢,弯爪底部的刻纹斜面紧贴硅棒腰部斜面,可抓紧单晶硅棒边防止相对滑动,之后松弛提拉线,夹持爪装置可代替提拉线工作。本发明能解决目前传统提拉机构难以提拉承载超重单晶硅棒的不足,具强度大,装载可靠稳定等优点,可夹持超重单晶硅棒并防止细颈断裂。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 夹持 装置 及其 工作 方法 | ||
【主权项】:
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