[发明专利]一种基于光声效应的气体传感器在审
| 申请号： | 202011525743.2 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112782089A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 于孟今 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 252400 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及气体检测领域，具体提供了一种基于光声效应的气体传感器，包括腔壁、进气口、出气口、透光孔、弹性层、电敏感层、源极、漏极，进气口和出气口设置在腔壁的相对侧面上，透光孔设置在腔壁上，透光孔与进气口同侧，弹性层覆盖腔壁，弹性层与腔壁围成腔室，电敏感层置于弹性层上，源极和漏极置于电敏感层上的两侧。本发明具有气体浓度探测灵敏度高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 效应 气体 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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