[发明专利]一种新型高真空高温质量监控装置及方法有效
| 申请号： | 202011526049.2 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112730140B | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 贡昊;邹培勇 | 申请（专利权）人： | 上海辰荣电炉有限公司 |
| 主分类号： | G01N5/02 | 分类号： | G01N5/02 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 谢绪宁;薛赟 |
| 地址： | 201900 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请涉及监控设备技术领域，尤其是涉及一种新型高真空高温质量监控装置，其包括测量机构和连通机构，测量机构包括测量室、称重传感器和控制仪表，连通机构的一端设在测量室上且与测量室连通，连通机构的另一端设在炉盖上且与反应炉连通，称重传感器上设有悬挂金属丝，悬挂金属丝穿设在连通机构内，且悬挂金属丝的一端设在称重传感器上，悬挂金属丝的另一端竖直悬挂在反应炉的内腔中。本申请具有以下效果：气相物质在高温高真空下沉积在被测量工件的表面形成涂层，称重传感器则可以感应测量被测量工件质量的变化，并以数据显示的形式反馈于控制仪表，试验人员可以通过记录被测量工件质量的变化量，对气相沉积的质量进行实时监控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 真空 高温 质量 监控 装置 方法 | ||
【主权项】：
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