[发明专利]半导体元件用干冰清洗设备在审
| 申请号： | 202011526642.7 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112657944A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 陈铁龙;林智颖;陈坤;张振;孙东初 | 申请（专利权）人： | 苏州睿智源自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 苏州周智专利代理事务所(特殊普通合伙) 32312 | 代理人： | 杨月芳 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体元件用干冰清洗设备，包括设备架体，安装在所述设备架体上的干冰发生机构、干冰喷射机构、干冰净化机构和清洗室；所述干冰发生机构包括液态二氧化碳存储罐和干冰发生器；所述干冰喷射机构包括用于安装干冰喷嘴的干冰喷头座和驱动所述干冰喷头座移动的机械手；所述干冰净化机构包括进风机和抽风机，所述进风机与所述清洗室连通，所述抽风机与所述清洗室连通；所述清洗室由一网板分隔成上层清洗部和下层集料部，所述网板上固定有用于放置产品的放置板，所述清洗室开设有出风口，所述出风口与所述抽风机连通。本发明利用干冰颗粒对半导体元件表面的毛刺、颗粒物等杂质进行破碎，使半导体表面达到高洁净度的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 元件 干冰 清洗 设备 | ||
【主权项】：
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