[发明专利]一种基于光载微波干涉的液膜厚度测量系统有效
| 申请号： | 202011528377.6 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112747682B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 薛婷;李铸平;吴斌 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 程毓英 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种基于光载微波干涉的液膜厚度测量系统，其特征在于：包括宽带载波光源(1)、频率可调谐微波源(2)、电光调制器(3)、光放大器(4)、第一1×2多模光纤耦合器(5)、自聚焦透镜(6)、凸透镜(7)、光耦合透镜(8)、多模传输光纤(9)、第二1×2多模光纤耦合器(10)、高速光电探测器(11)、锁相放大器(12)、矢量微波探测器(13)和计算机(14)。本发明能够实现对液膜厚度的高精度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 微波 干涉 厚度 测量 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津大学，未经天津大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011528377.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
