[发明专利]一种用于精细电路印刷的图案形成方法有效
| 申请号： | 202011529021.4 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112822859B | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 林剑;马昌期;曾超;邢建博 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所广东（佛山）研究院 |
| 主分类号： | H05K3/12 | 分类号： | H05K3/12 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 胡枫;李素兰 |
| 地址： | 528000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于精细电路印刷的图案形成方法，包括：(1)选用由含有‑O‑Si‑R基团的硅橡胶制成的印章；(2)选用衬底，所述衬底表面的主要成分为氧化硅；(3)对所述衬底进行强氧化处理，使衬底表面形成活性的Si‑O‑(H)基团；(4)在强氧化处理后的预设时间内，将所述印章与带有Si‑O‑(H)基团的衬底表面进行接触；(5)将所述印章与带有Si‑O‑(H)基团的衬底进行分离，得到能印刷精细电路的亲疏水图形。采用本发明，可以低成本大量复制亲疏水图形，进而能控制导电油墨在干燥前存在的自发运动，从而获得更精细的导电图案，并降低意外短路的概率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 精细 电路 印刷 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
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